光學(xué)形貌儀進(jìn)行表面粗糙度和表面形貌測量時，比探針式輪廓儀有更低的成本，但同樣使用了當(dāng)今較高分辨率光學(xué)輪廓儀采用的白光干涉（WSI）及相移干涉（PSI）測量技術(shù)，垂直分辨率可達(dá)次納米級。光學(xué)形貌儀的直觀軟件包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量，在數(shù)秒內(nèi)，您可以獲得平面和曲面表面形貌測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件來組合多個影像以提供大面積的測量。
光學(xué)形貌儀可存儲、共享、查看與分析來自您的光學(xué)輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺式電腦，平板電腦或智能手機(jī)上都能查看和操作。享受全面的圖像分析功能，包括表面輪廓（粗糙度）和階高分析。每臺儀器都標(biāo)配自動化X/Y平臺；并配備了一個10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片，可達(dá)0.5％準(zhǔn)確度。另我們還提供100nm，2微米以及4微米等多階高的標(biāo)準(zhǔn)片。光學(xué)形貌儀采用10倍物鏡可以提供更寬廣的2毫米視野，其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要。手動物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡，可滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應(yīng)用。
產(chǎn)品應(yīng)用：
MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)。
產(chǎn)品特性：
1、采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率；
2、測量具有非破壞性，測量速度快，準(zhǔn)確度高；
3、測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面；
5、不受樣品反射率的影響；
6、不受環(huán)境光的影響；
7、測量簡單，樣品無需特殊處理。
