光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。它可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。該系統支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統的相干掃描干涉技術（CSI）。本產品進一步擴展了這些技術，它采用SMART Acquire為新手用戶簡化了程序設置，并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。

 

　　光學輪廓儀測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關，因而能夠在大視野范圍內進行高分辨率測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。產品的用戶界面創新而簡單，適用于從研發到生產的各種工作環境。

 

　　光學輪廓儀的主要應用：

　　1、臺階高度：納米到毫米級別的3D臺階高度；

　　2、紋理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度；

　　3、外形：3D翹曲和形狀；

　　4、應力：2D薄膜應力；

　　5、薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度；

　　6、缺陷檢測：捕獲大于1μm的缺陷；

　　7、缺陷復檢：采用KLARF文件作為導航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置。

 

　　儀器特性：

　　1、大視場下高的垂直分辨率；

　　2、從0.5x到200x不同放大倍率實現不同面型和織構表面的表征；

　　3、硬件的優化設計進一步的儀器抗噪聲能力、系統靈活性和測量穩定性；

　　4、激光自校準技術使得儀器間測量數據一致，保證測量的重復性和準確性；

　　5、優異的縫合能力可以對上千個數據無縫拼接，實現樣品大面積檢測；

　　6、多核處理器和64位軟件使數據分析速度提高十倍以上。