FilmSense多波段橢偏儀

簡要描述：FilmSense多波段橢偏儀可通過橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析,適用于薄膜材料的快速測量表征。

產(chǎn)品型號：FS-1
廠商性質(zhì)：代理商
產(chǎn)品資料：
更新時(shí)間：2024-11-09
訪問量： 3294

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詳細(xì)介紹

第 3 代 Film Sense 多波長橢偏儀系統(tǒng)現(xiàn)已上市！這一代的主要改進(jìn)是電動源偏振器，它支持自動校準(zhǔn)和區(qū)域平均測量。新系統(tǒng)具有與獲得zhuan利的* FS-1 橢偏儀技術(shù)相同的優(yōu)點(diǎn)（長壽命 LED 光源、快速可靠的無移動部件探測器、緊湊型設(shè)計(jì)和網(wǎng)絡(luò)瀏覽器軟件界面），同時(shí)保持易用性和經(jīng)濟(jì)性。Film Sense 多波長橢圓儀是原位實(shí)時(shí)監(jiān)測和控制薄膜沉積和蝕刻過程的理想選擇。通過原位橢圓偏振儀測量實(shí)時(shí)觀察和表征過程的能力對于診斷工藝室中的問題和提高工藝開發(fā)的效率非常有益。

FS-1 波長

FilmSense多波段橢偏儀

FS-1 緊湊型封裝橢偏儀
4 個(gè)波長，450 – 660 nm 光譜范圍（替代原來的 FS-1）
測量 0 – 2 μm 厚度范圍內(nèi)的單層透明薄膜的良好選擇，精度低至 0.0004 nm
美國zhuan利#9,354,118

FS-1EX™（第 3 代）橢偏儀
6 個(gè)波長，405 – 950 nm 光譜范圍
2 個(gè)較長的波長（850 和 950 nm）能夠測量較厚的透明薄膜（高達(dá) 5 μm）和吸收半導(dǎo)體薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）
薄膜電阻率測量（使用 Drude 模型）也通過 2 個(gè)更長的波長得到改進(jìn)。

6 個(gè)波長和更寬的光譜范圍為多層薄膜堆疊提供增強(qiáng)的測量能力

標(biāo)準(zhǔn)異地配置

65° 入射角。
手動樣品加載和高度調(diào)整。
樣品尺寸可達(dá) 200 毫米直徑。和 20 毫米的厚度。
+/-2° 范圍內(nèi)的樣品傾斜。
樣品上的光束尺寸：4 x 9 mm。
占地面積小 (180 x 400 mm)，重量輕 (5 kg)。

在線機(jī)型特征

功能：

-亞單層厚度精度

-在多種工藝條件下確定薄膜光學(xué)常數(shù) n&k 和沉積速率，無需破壞真空

-監(jiān)測和控制多層膜結(jié)構(gòu)的沉積

-用于外部軟件控制的FS-API接口（兼容LabVIEW™）

-適用于大多數(shù)薄膜沉積和蝕刻技術(shù)：濺射、ALD、ALE、MBE、CVD、PLD等。